【使用注意事项】使用时用镊子取出标准物质片,放置测量样片台上
【特征形态】固态
【基体】硅单晶材料
【主要分析方法】
组分 | 标准值 | 标准偏差 | 单位 |
电阻率值 | 0.01 | 1.5 | 电阻率值(·cm) |
径向不均匀度(%)(距边缘6mm以内) | 4 | 1.5 | 径向不均匀度(%) |
【使用注意事项】使用时用镊子取出标准物质片,放置测量样片台上
【特征形态】固态
【基体】硅单晶材料
【主要分析方法】
组分 | 标准值 | 标准偏差 | 单位 |
电阻率值 | 0.01 | 1.5 | 电阻率值(·cm) |
径向不均匀度(%)(距边缘6mm以内) | 4 | 1.5 | 径向不均匀度(%) |