【使用注意事项】使用时用镊子取出标准物质片，放置测量样片台上
【特征形态】固态
【基体】硅单晶材料
【主要分析方法】
| 组分 | 标准值 | 标准偏差 | 单位 |
| 电阻率值 | 0.1 | 1.5 | 电阻率值(·cm) |
| 径向不均匀度（％）（距边缘6mm以内） | 4 | 1.5 | 径向不均匀度(%) |
【使用注意事项】使用时用镊子取出标准物质片，放置测量样片台上
【特征形态】固态
【基体】硅单晶材料
【主要分析方法】
| 组分 | 标准值 | 标准偏差 | 单位 |
| 电阻率值 | 0.1 | 1.5 | 电阻率值(·cm) |
| 径向不均匀度（％）（距边缘6mm以内） | 4 | 1.5 | 径向不均匀度(%) |
GBW(E)110064-闭口闪
GBW(E)130067-紫外可