纳米台阶高度标准物质主要包括一下几种（国家一级标准物质 5种）：

• GBW13950-纳米台阶高度标准物质-标准值 100nm  研制机构：国家纳米科学中心 中国计量院
• GBW13951-纳米台阶高度标准物质-标准值  200nm 研制机构：国家纳米科学中心 中国计量院
• GBW13952-纳米台阶高度标准物质-标准值  50nm   研制机构：国家纳米科学中心 中国计量院
• GBW13953-纳米台阶高度标准物质-标准值  500nm 研制机构：国家纳米科学中心 中国计量院
• GBW13954-纳米台阶高度标准物质-标准值 1000nm 研制机构：国家纳米科学中心 中国计量院

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